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  • 微波等离子清洗机PC20-PRO

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微波等离子清洗机PC20-PRO
☆小型微波等离子清洗机
☆适合模块组装产线及科研院校研究平台使用
☆无自偏压，无物理轰击、等离子化学特性高
☆腔体内部无电极易维护

包括但不限于以下应用场景：
微波、射频、激光、光通信
集成电路封装
微流控等生物芯片
医疗器械
材料表面改性
产品介绍

腔体尺寸：W225*H225*D320 mm

腔体体积：16L

等离子源：微波，2.45GHz

微波功率：50~600W 连续可调                

气体管路：标配 2 路气体

真空计：Pirani皮拉力式

流量计：数字式气体流量控制器

控制方式：触摸屏，图形化控制，自动运行

真空泵：标配油泵                                    


电源：230V，50/60Hz                  

重量：45kg                                      

设备尺寸：W565*H620*D660 mm


选配项

气体：可升级至最大4路                  

流量计：可减配，浮子式流量计（非Pro版本）                     

真空泵：可升级干式真空泵

联网：可升级支持SECS/GEM标准协议