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  • 微波等离子清洗机PC95

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微波等离子清洗机PC95
☆适合工厂大批量生产
☆腔体内部配置多种装载方式保证均匀性
☆无自偏压，无物理轰击、等离子化学特性高
☆腔体内部无电极易维护

包括但不限于以下应用：
集成电路封装清洗
IGBT塑封专用解决方案
PCB / LED 封装清洗
太阳能基板/新材料表面处理
微波、射频、光通信等微组装
产品介绍

技术参数

腔体尺寸：W460*H460*D450 mm

腔体体积：95L

等离子源：微波，2.45GHz

微波功率：50~1200W 连续可调                

气体管路：标配 2路气体

控制方式：显示屏悬臂通过鼠标键盘控制，图形化操作，自动运行

真空计：Pirani皮拉力式

流量计：数字流量控制器

真空泵：标配油泵                                    


电源：3/N/PE AC 50 Hz 380~420V 16 A              

重量：200kg                                      

设备尺寸：W1000*D1000*H1850 mm


选配项

气体：可升级至最大4路                                       

真空泵：可升级干式真空泵

腔体配置1：旋转台

腔体配置2：ECR料架