技术参数

腔体尺寸：W225*D290*H225mm

腔体体积：15L

加热台：40~250℃温度可控                                 

等离子源：微波，2.45GHz

微波功率：50~1200W连续可调                        

气体管路：标配 2 路气体

控制方式：触摸屏控制，图形化操作，自动运行

样品：支持处理平放最大8寸晶圆

腔体材质：铝

真空计：Pirani 皮拉力式

流量计：MFC精密数字流量控制器

真空泵：标配油泵

电源：230V，50/60Hz                            

重量：150kg

设备尺寸：W480*D710*H1450mm                  

选配项

气体管路：可升级最大支持4路

高均匀模块：可选高均匀性去胶功能模块

法拉第笼：可选                                 

真空泵：可升级干式真空泵

联网：可升级支持SECS/GEM标准协议