腔体尺寸：φ170*D250mm

腔体材质：石英，桶式

样品：支持4寸晶圆批量处理，及6寸以内（碎片）平放处理          

腔体体积：6L

等离子源：微波，2.45GHz

微波功率：50~600W 连续可调                        

气体管路：标配 2 路气体

控制方式：触摸屏控制，图形化操作，自动运行

真空计：Pirani皮拉力式                         

流量计：数字流量控制器

真空泵：标配油泵                                      

电源：230V，50/60Hz

重量：32kg

设备尺寸：W465*H415*D480 mm                   

选配项

气体管路：可升级至最大4路                     

真空泵：可升级干式真空泵

法拉第笼：可选配

石英舟：可选配

联网：可升级支持SECS/GEM标准协议