技术参数

腔体尺寸：φ240*D270mm

腔体材质：石英，桶式

样品：支持8寸晶圆或6寸晶圆批量处理               

腔体体积：12L

等离子源：微波，2.45GHz

微波功率：50~600W 连续可调                        

气体管路：标配 2 路气体

控制方式：触摸屏控制，图形化操作，自动运行

真空计：Pirani 皮拉力式                        

流量计：数字流量控制器

真空泵：标配油泵                                      

电源：230V，50/60Hz

重量：56kg      

设备尺寸：W600*H500*D500 mm                   

选配项

气体管路：可升级至最大4路

真空泵：可升级干式真空泵

法拉第笼：可选配

石英舟：可选配

联网：可升级支持SECS/GEM标准协议